LHMX-6RTW コンピュータ制御式研究グレード金属顕微鏡
直立したヒンジ付き三眼観察チューブを備えており、像の向きが対象物の実際の方向と一致し、対象物の移動方向が像面の移動方向と一致するため、観察と操作が容易です。
4インチのプラットフォームを備えており、対応するサイズのウェハーやFPDの検査、および小型サンプルのアレイ検査に使用できます。
精密ベアリング設計を採用しており、滑らかで快適な回転、高い再現性、そして変換後の対物レンズの同心度に対する優れた制御性を実現しています。
工業用検査顕微鏡本体は、低重心、高剛性、高安定性の金属フレームを採用することで、システムの耐衝撃性と画像安定性を確保しています。
前面に配置された低位置の同軸フォーカス機構は、粗動・微動調整が可能で、内蔵の100～240V広電圧トランスにより、様々な地域の電力網電圧に対応します。ベース部には内部空気循環冷却システムが組み込まれており、長時間使用時でもフレームの過熱を防ぎます。
| 標準構成 | 型番 | |
| P美術 | 仕様 | LHMX-6RT |
| 光学系 | 無限遠補正光学系 | · |
| 観察チューブ | 30°傾斜、反転像、無限遠ヒンジ付き三方向観察チューブ、瞳孔間距離調整：50～76mm、3段階ビーム分割比：0:100、20:80、100:0 | · |
| 接眼レンズ | 高いアイポイント、広い視野、平面視接眼レンズ PL10X/22mm | · |
| 対物レンズ | 無限遠補正長距離照明そして暗いフィールド対物レンズ：LMPL5X /0.15BD DIC WD9.0 | · |
| 無限遠補正された長距離光と暗視野対物レンズ：LMPL10X/0.30BD DIC WD9.0 | · | |
| 無限遠補正長距離明暗視野対物レンズ：LMPL20X/0.45BD DIC WD3.4 | · | |
| 無限大補正セミアポクロマート対物レンズレンズ：LMPLFL50X/0.55 BD WD7.5 | · | |
| コンバータ | DICスロット付き内部位置決め式5穴明暗視野変換器 | · |
| フォーカスフレーム | 透過・反射フレーム、前面低位置同軸粗微動焦点調整機構。粗動調整範囲33mm、微動調整精度0.001mm。滑り止め調整張力装置とランダム上限装置を搭載。100～240Vの広電圧システム、12V 100Wハロゲンランプ、透過光照明システム、上下独立制御可能な照明を内蔵。 | · |
| プラットフォーム | 4インチ二層構造の機械式移動プラットフォーム、プラットフォーム面積230×215mm、移動範囲105×105mm、ガラス製プラットフォーム、右手用X軸・Y軸移動用ハンドル、プラットフォームインターフェース付き。 | · |
| 照明システム | 明暗両方向の視野を照らす反射式照明装置。調整可能な開口部、視野絞り、および中央調整可能な開口部を備え、明暗両方向の視野照明切り替え装置を搭載。カラーフィルタースロットと偏光装置スロットも備えている。 | · |
| 偏光アクセサリー | 偏光子挿入プレート、固定式検光子挿入プレート、360°回転式検光子挿入プレート。 | · |
| 金属組織分析ソフトウェア | FMIA 2023金属組織分析システム、USB 3.0対応12メガピクセルソニー製チップカメラ、0.5倍アダプターレンズインターフェース、および高精度マイクロメーター。 | · |
| オプション設定 | ||
| 一部 | 仕様 | |
| 観察チューブ | 30°傾斜、正立像、無限遠ヒンジ付きT字型観察管、瞳孔間距離調整：50～76mm、ビーム分割比100:0または0:100 | O |
| 5～35°の傾斜調整が可能、正立像、無限遠ヒンジ付き三方向観察チューブ、瞳孔間距離調整：50～76mm、片側視度調整：±5ジオプトリー、2段階ビーム分割比100:0または0:100（22/23/16mmの視野に対応） | O | |
| 接眼レンズ | 高いアイポイント、広い視野、平面接眼レンズPL10X/23mm、視度調整可能 | O |
| 高いアイポイント、広い視野、平面接眼レンズPL15X/16mm、視度調整機能付き。 | O | |
| 対物レンズ | 無限大補正セミアポクロマート対物レンズレンズ：LMPLFL100X/0.80 BD WD2.1 | O |
| 差動干渉 | DIC（微分干渉成分） | O |
| カメラデバイス | USB 3.0および1倍アダプターインターフェースを備えた、20メガピクセルのソニー製センサーカメラ。 | O |
| コンピューター | HPビジネスマシン | O |
注記： "· 「」は標準構成を示します。 "O 「」はオプションを示しますアイテム。
